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薄膜电阻应变式压力传感器的研发与发展趋势

2018-12-12 759次浏览 来源:网络

薄膜电阻应变式压力传感器的研发与发展趋势

应变片式压力传感器(工作原理)是基于电阻应变效应原理工作的。应变片式压力传感器是电阻式压力传感器的一种,其通过粘结在弹性元件上的应变片的阻值变化来测量压力值的。用于力、扭矩。、张力、位移、转角、速度、加速度和振幅等测量。

电阻应变式压力传感器所运用的基本原理是电阻的应变效应:导体受机械变形时,其电阻值发生变化,称为“应变效应”


基于应变片式压力传感器工作原理采用镀膜、光刻技术,以石英、Al2O3陶瓷为基底,蒸镀金属薄膜并将其制成电阻应变式压力传感器敏感栅在0~0.6MPa压力范围内进行相关性能测试

结果表明:所得传感器均能在此负载范围内正常工作,薄膜电阻应变式压力传感器与传统压力传感器相比,具有应力应变线性度好、重复性好、回差小、蠕变小等优点。另外,由于它们还具有耐高温、耐腐蚀的特点而在工业、生产领域有相当高的实用价值。


人类迈入21世纪,信息处理技术、微处理器和计算机技术的快速发展和*应用,都需要在传感器的开发方面有相应的进展。随着现代科学技术的进步,非电物理量的测试与控制技术,已越来越*地应用于航天、航空、常规武器、船舶、交通运输、冶金、机械制造、化工、轻工、生物医学工程、自动检测与计量、称重等技术领域,而且也正在逐步引入人们的日常生活中。可以说测试技术与自动控制技术水平的高低,是衡量一个*科学技术现代化程度的重要标志。传感器是信息采集系统的感应单元,所以,它是自动化系统和控制设备的关键部件,作为系统中的一个结构组成,在科技、生产自动化领域中的作用越来越重要。


传感器亦称换能器,是将各种非电量(包括物理量,化学量,生物学量等)按一定的规律转换成便于处理和传输的另外一种物理量(一般为电量、磁量等)的装置,它能把某种形式的能量转换成另一种形式的能量。传感器一般由敏感元件、传感元件和测量电路3部分组成,有时还需加上辅助电源。


国际电工委员会IEC(International electrotechnical committee)则将传感器定义为测量系统中的一种前置部件,它将输入变量转换成可供测量的信号。传感器是传感器系统的一个组成部分,是被测量信号输入的*道关口。对传感器在技术方面有一定的要求,比如:高灵敏度、高稳定性 、线性度好、迟滞小、可重复、低成本、小尺寸、重量轻和强度高等等,而同时亦要考虑尽可能低的零点漂移、温度漂移及蠕变等。近年来,传感器有向小型化、集成化、智能化、系列化 、标准化方向发展的趋势。



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