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真空泵的分类与工作压力范围

2018-12-11 1668次浏览 来源:网络

  真空泵的分类与工作压力范围

  真空泵是用各种方法在某一封闭空间中产生、改善和维持真空的装置。真空泵可以定义为:利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。随着真空应用的发展,真空泵的种类已发展了很多种,其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升。极限压力(极限真空)从粗真空到10-12Pa以上的极高真空范围。

真空泵

  真空区域的划分

  • 粗真空       10⁵~ 10³Pa

  • 低真空       10³ ~10 ⁻¹Pa

  • 高真空       10⁻¹ ~ 10 ⁻⁶Pa

  • 超高真空    10⁻⁶ ~10 ⁻¹ºPa

  • 极高真空    <10⁻¹ºPa

  1、真空泵的分类

  按真空泵的工作原理,真空泵基本上可以分为两种类型,即变容真空泵和动量传输泵。

  变容真空泵是利用泵腔容积的周期变化来完成吸气和排气以达到抽气目的的真空泵。气体在排出泵腔前被压缩。

  动量传输泵(分子真空泵)依靠高速旋转的叶片或高速射流,把动量传输给气体或气体分子,使气体连续不断地从泵的入口传输到出口。

  变容真空泵

  • 往复式

  • 旋转式(旋片式、滑阀式、液环式、罗茨式、螺旋式、爪形转子式)

  • 其它型式

  2、各类真空泵工作压力范围

真空泵种类工作压强范围(Pa)
往复式真空泵1×15⁵~1.3×10²
旋片式真空泵1×10⁵~6.7×10⁻¹
液环式真空泵1×10⁵~2.7×10³
罗茨式真空泵1.3×10³~1.3
水蒸气喷射泵1×10⁵~1.3×10⁻¹
油扩散泵1.3×10⁻²~1.3×10⁻⁷
钛升华泵1.3×10⁻²~1.3×10⁻⁹


关键词: 真空泵
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