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光栅尺传感器的组成结构与应用领域

2018-12-12 886次浏览 来源:夏罗登工业科技

  光栅尺传感器的组成结构与应用领域

  在一百多年前,人们就开始利用光栅的衍射现象, 把光栅应用于光谱分析、测定光波的波长等方面,本世纪50年代,人们利用光栅莫尔条纹现象,把光栅尺作为测量元件,开始应用于机床和计算仪器上。

  物理光栅: 利用光的衍射现象分析光谱、测定波长。

  计量光栅: 利用光的莫尔条纹现象测量精密位移。

  1950年德国海德汉Heidenhain首创DIADUR复制工艺, 也就是在玻璃基板上蒸发镀铬的光刻复制工艺,这才能制造高精度、价廉的光栅刻度尺,光栅计量仪器才能为用户所接受,进入商品市场。

光栅尺_传感器

  光栅在栅式测量系统中的占有率已超过80%,光栅长度测量系统的分辨力已覆盖微米级、亚微米级和纳米级,测量速度从60m/min,到480m/min。 测量长度从1m、3m达到30m和*m。

  光栅尺传感器的组成

  光栅尺传感器由光源、透镜、光栅副和光电接受元件组成。

  • 光栅副是光栅传感器的主要部分。

  • 主光栅(标尺光栅)

  • 指示光栅

  • 标尺光栅的有效长度决定了传感器的有效测量长度和范围。

  光栅尺传感器的应用领域

  光栅尺传感器精度高,测量范围大,易于实现自动化和数字化,*应用于长度计、数控机床、机床行业工厂自动化、三坐标测量机、精密转台、电机行业、电子制造设备、印刷行业、造纸行业、水利行业、纺织行业、天文望远镜、航空航天和桥梁健康检测系统。


关键词: 光栅尺
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